◆性能特點(diǎn)：

光學(xué)金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設(shè)計(jì)，功能強(qiáng)大。

同時(shí)具備光學(xué)顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能，兩者可同時(shí)工作，互不影響。

同時(shí)具備光學(xué)二維測(cè)量和原子力顯微鏡三維測(cè)量功能。

激光檢測(cè)頭和樣品掃描臺(tái)集成一體，結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定，抗干擾性強(qiáng)。

精密探針定位裝置，激光光斑對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)非常簡(jiǎn)便。

單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針，使針尖垂直于樣品掃描。

馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針?lè)绞剑Ｗo(hù)探針及樣品。

超高倍光學(xué)定位系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位。

集成掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于98%。

◆測(cè)量范圍及應(yīng)用：

測(cè)量范圍：二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。

應(yīng)用：納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纖維膜絲、粗糙度測(cè)試、四氧化三鐵、M13-PBA等。

◆ 應(yīng)用案例 Application Case